미국의 글로벌 화학소재기업 듀폰이 충남 천안에 2800만 달러를 들여 내년까지 극자외선(EUV)용 포토레지스트 생산 공장을 건설한다.
EUV용 포토레지스트는 지난해 일본이 한국에 수출규제 조치를 내렸던 반도체 핵심소재 3종 중 하나로 정부와 국내 업계가 집중 육성하기로 한 시스템반도체 핵심소재다. 이번 투자로 소재 공급선이 다양해지고 90%이상인 일본 의존도를 낮추는 데 기여할 것으로 보인다.
10일 산업통상자원부에 따르면, 존 켐프 듀폰 사장은 8일(현지시각) 미국 실리콘밸리에서 성윤모 산업부 장관을 만나 EUV용 포토레지스트 생산 공장을 국내에 짓기로 확정하고 코트라에 2800만 달러(약 324억5000만원) 규모의 투자신고서를 제출했다.
성윤모 산업부 장관은 이날 실리콘밸리에서 존 켐프 듀폰 사장과 개별면담을 갖고 투자 협상을 매듭지었다.
투자지역은 듀폰이 국내 자회사를 통해 반도체 소재·부품 생산공장을 가동하고 있는 충남 천안이며 투자 예상 기간은 2020년부터 2021년까지다.
포토레지스트는 반도체 웨이퍼(기판) 위에 도포하고 빛을 쪼여 패턴을 그리는 공정에서 쓰인다. 파장이 짧아 미세화 공정에 적합한 EUV는 삼성전자 등 국내 반도체업계가 차세대 먹을거리로 공들이고 있는 시스템반도체 핵심소재다.
지난해 7월 일본이 한국에 대한 수출절차를 까다롭게 바꾼 3가지 품목 중 하나다.
전문가들은 규제가 장기화됐을 경우 가장 일본산 대체가 어려운 소재가 포토레지스트라고 입을 모았다.
한국 주력산업인 메모리반도체는 대체 여력이 있지만, 시스템반도체의 경우 일본산 대체가 어려워 앞으로 타격이 불가피하다. 2018년 한국의 반도체용 포토레지스트 수입액 중 일본산 비중이 93.1%로 의존도가 높았고, 기술격차도 커 단기간에 국산화하기는 어렵다는 분석이 많았다.
이번에 듀폰 투자를 유치하면서 국내 생산 길이 열렸다. 일본은 지난달 수출규제 3개 소재 중 포토레지스트의 수출허가 방식을 개별허가에서 특정포괄허가로 한 단계 완화했는데, 한국이 수입선 다변화에 나서면 자국 기업이 피해를 입을 것에 대비한 조치로 풀이된다.
듀폰도 안정된 수요기업이 존재하고 일본을 대체할 만한 공급처를 찾고 있는 한국 시장을 공략할 가치가 있다고 판단한 것으로 보인다.
켐프 사장은 투자신고서를 제출하는 자리에서 “EUV용 포토레지스트 개발·생산을 위해 앞으로 한국 내 주요 수요업체와 제품 실증테스트를 진행하는 등 긴밀히 협력하겠다”고 밝혔다.
듀폰은 앞으로 천안공장에서 반도체 웨이퍼 표면 평탄화에 쓰는 CMP패드도 생산할 계획이다. CMP 분야에서 듀폰은 세계시장 80% 이상을 점유하고 있는 선두업체라 국내 원재료 산업 생태계에도 도움이 될 것으로 산업부는 보고 있다.
성윤모 장관은 이날 페이스북에 올린 글에서 "EUV용 포토레지스트는 주로 일본에 의존하고 있는데요, 이번 투자유치를 통해 해당 품목의 공급선을 다변화하고, 우리 소재부품장비 산업의 경쟁력을 강화하는 데에 기여할 것으로 기대한다"고 소감을 밝혔다.
산업부 관계자는 “올해도 주요 투자국을 대상으로 전략적 IR을 추진하고 외국기업의 국내 투자를 적극 유도해나가겠다”면서 “소재·부품 장비와 신산업 분야 유망기업에 선제 투자 인센티브를 제안하고, 투자가 결정되면 정부와 지자체, 유관기관이 합동 태스크포스(TF)를 구성해 투자 어려움을 해소할 수 있도록 적극 지원하겠다”고 밝혔다.
박태정 기자 ttchung@hanmail.net
