반도체 제조공정에 쓰이는 특수 가스를 생산하는SK머티리얼즈(대표 이용욱)가 금호석유화학의 반도체 공장 핵심 소재인 ‘포토레지스트(감광액)’ 사업을 인수, 반도체 사업에 뛰어든다.
SK머티리얼즈는 2019년 매출액 7758억 원에 영업이익 2231억 원을 올린 알짜배기 회사다. 2016년 SKC에어가스 지분 80% 인수,2017년 일본 쇼와덴코와 합작사 설립, 2018년 SKC에어가스 지분 20% 추가인수, 2019년 한유케미칼 인수 등에 이은 몸집 불리기로 풀이된다.
포토레지스트는 일본이 2019년 7월부터 한국 수출 규제를 강화한 불화수소와 폴리이미드와 함께 반도체 핵심 소재 중 하나다.
이번 인수로 반도체 소재(SK머티리얼즈)부터 웨이퍼(SK실트론), D램·낸드 생산(SK하이닉스)으로 이어지는 SK그룹의 반도체 사업 수직계열화가 한층 탄탄해질 것이라는 분석이 나온다.
SK머티리얼즈는 7일 이사회를 열고, 금호석유화학 전자소재사업을 인수하는 영업양수도 계약을 체결했다고 밝혔다.
금호석유화학 전자소재사업 부문은 반도체 공장의 필수 소재인 감광액을 생산하고 있으며, 이는 일본 정부의 수출 제한 품목이다.금호석유화학이 생산하는 포토레지스트는 메모리반도체용과 비메모리반도체용이 있으며 해상력과 공정마진, 에치저항성과 선폭거치기 등이 수한 것으로 알려져 있다.
인수금액은 400억 원으로 알려졌다. 인수조건은 충남 아산에 있는 공장 설비와 인력만 인수하는 것으로 전해졌다.
SK머티리얼즈는 감광액 소재 사업을 담당하는 자회사를 설립한다는 계획이다.
SK머티리얼즈는 이번 인수로 소재 국산화 경쟁력을 대폭 강화할 것으로 보인다. 그렇다고 해도 당장 ‘포토레지스트 독립’이 이뤄지는 것은 아니다. 금호석유화학의 불화아르곤(ArF) 포토레지스트는 아직 극자외선(EUV)용만큼 미세공정에 적합한 수준엔 못 미치기 때문이다.
국내에선 삼성전자와 SK하이닉스 등의 차세대 주력 반도체인 10㎚(나노미터·1㎚=10억분의 1m) 이하 초미세공정용 포토레지스트는 아직 생산 기술을 개발하지 못했다. SK머티리얼즈는 인수 이후 별도 자회사를 설립해 포토레지스트 기술 개발에 나설 계획이다.
업계 관계자는 “특수가스 분야의 노하우가 풍부한 SK머티리얼즈가 연구개발(R&D)에 뛰어들면 1~2년 이내에 EUV용 포토레지스트도 개발할 수 있을 것”이라고 말했다.이용욱 SK머티리얼즈 사장은 “신규 소재 연구개발(R&D)에 대한 투자와 국내외 기업과의 협력을 통해 진정한 소재 플랫폼 기업으로 성장하겠다”고 말했다.
SK머티리얼즈는 1982년 11월10일 설립됐으며 종업원 700명인 회사다. 세정가스, 증착가스,산업가스를 전문으로 생산한다. SK머티리얼즈는 반도체 내부의 회소형전 회로가 들어갈 공간을 식각하는 모노플루오르메탄, 육불화부타디엔, 디플루오르메탄,트리플루오르메탄 등 식각가스도 생산한다.
모노플루오르메탄(CH3F)은 3D 낸드 플래시(NAN) Flash) 의 질화막 식각에 사용되는 가스로 3D NAND 확산에 따라 그 사용량이 증가하고 있는데 국내에서는 SK머티리얼즈가 최초이자 유일하게 생산 판매하고 있다
박준환 기자 naulboo@gmail.com
