포스코, 이젠 네온 등 반도체용 희귀가스 국산화 나서
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포스코, 이젠 네온 등 반도체용 희귀가스 국산화 나서
  • 박준환 기자
  • 승인 2023.12.27 10:00
  • 댓글 0
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관련 기술 보유 중국 중타이와 합작 계약
현재 네온 등 희귀가스 TEMC 통해 SK하이닉스, 삼성전자에 공급

철강사업과 이차전지 소재 사업을 벌이고 있는 포스코그룹이 반도체용 희귀가스 생산을 시작한다.고순도 희귀가스는 반도체와 디스플레이, 인공위성 추진체 등 첨단 산업에 사용되는 순도 99.999%의 네온(Ne), 제논(Xe), 크립톤(Kr) 가스를 말한다.공기 중에 극히 미량으로만 존재하는 희귀가스는 다량의 공기를 처리할 수 있는 대형 공기분리장치가 있어야만 생산 가능하기 때문에 국내 기업들은 주로 미국, 중국, 우크라이나 등지에서 희귀가스를 수입해 사용하고 있다. 포스코의 희귀가스 생산으로 앞으로 희귀가스 공급망 안정화에 기여할 것으로 보인다.  

네온은 반도체 노광 공정에 쓰는 레이저 가스의 주요 재료로 이 가스 성분의 95%를 차지하지만 공기 중에 0.00182%밖에 없는 희귀 자원이다.네온과 크립톤 등 희귀가스는 반도체 노광공정에서 주로 쓰인다. 사진은 반도체 제조공정. 사진= 나이스 신용평가
네온은 반도체 노광 공정에 쓰는 레이저 가스의 주요 재료로 이 가스 성분의 95%를 차지하지만 공기 중에 0.00182%밖에 없는 희귀 자원이다.네온과 크립톤 등 희귀가스는 반도체 노광공정에서 주로 쓰인다. 사진은 반도체 제조공정. 사진= 나이스 신용평가

포스코그룹 지주회사인 포스코홀딩스는 27일 포스코그룹이 반도체용 희귀가스 사업 확장에 나선다고 밝혔다.이를 위해 중국 항저우의 '중타이 크라이어제닉 테크놀러지(중타이)'와 고순도 희귀가스 생산을 위한 합작 계약을 지난 22일 체결했다.합작 지분은 포스코홀딩스 75.1%, 중타이 24.9%다.

중국 가스 전문 기업 중타이 크라이어제닉 로고. 사진=중타이
중국 가스 전문 기업 중타이 크라이어제닉 로고. 사진=중타이

중타이는 중국 선전거래소에 상장된 극저온을 이용해 생산하는 가스 관련 설비 설계와 제작, 엔지니어링,판매 전문기업이다. 희귀가스 생산설비, 공기 분리장치 등 가스 분야에 특화된 전문 기술을 보유하고 있다.

포스코홀딩스는 국내 고순도 희귀가스 수요 증가에 대응하기 위해 중타이와 연산 13만N㎥(노멀세제곱미터)규모의 고순도 희귀가스 생산공장을 설립한다. 이는 국내 반도체 시장에 필요한 희귀가스 52%를 공급할 수 있는 규모다.

희귀가스 생산 공장은 2024년 내 광양 동호안 터에 착공해 2025년 말부터 상업 생산하는 것을 목표로 한다.

이번 합작 계약에 따라 포스코홀딩스는 포스코의 제철소에서 생산되는 크루드(crude) 희귀가스를 합작 법인 생산공장에 공급하고, 중타이는 크루드 희귀가스에서 고순도 희귀가스를 생산하기 위한 설비와 기술을 제공한다.

포스코 광양제철소 내 산소공장의 대형 공기분리장치(ASU) 전경. 사진=포스코
포스코 광양제철소 내 산소공장의 대형 공기분리장치(ASU) 전경. 사진=포스코

포스코는 지난해 1월부터 고순도 희귀가스의 원재료인 크루드 네온가스를 상업생산하고 있다. 현재 포스코는 이를 반도체와 디스플레이용 특수가스 전문 업체 TEMC에 공급하고 TEMC가 가공해 SK하이닉스에 공급하고 있다.  하이닉스는 반도체 식각 공정에 쓰이는 크립톤과 제논도 국산화를 추진하고 있다.

SK머티리얼즈의 자회사 SK머티리얼즈 에어플러스는 미국 산업 가스 재활용 기업 아렌시비아와 합작회사를 설립해 희귀 가스를 생산하고 있다. SK하이닉스는 지난해 4월부터 반도체 노광 공정에 국산 네온(Ne) 가스를 쓰고 있다. 네온 사용량의 40%를 국산으로 대체했다. 

삼성전자도 포스코와 반도체용 제논 가스 사업 협력을 위한 양해각서를 체결했다. 2024년부터 포스코로부터 제논 가스를 받기로 했다.

이를 위해 포스코는 2024년부터 단계별로 크루드 제논과 크루드 크립톤까지 생산 품목을 지속 확대할 계획이다.

포스코홀딩스가 희귀가스를 본격 생산하면 대부분 수입에 의존한 반도체용 고순도 희귀가스를 국산화해 공급망 안정화에 기여할 수 있을 것으로 보인다. 
 

박준환 기자  naulboo@gmail.com


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